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多晶硅还原电极在发热体使用中的表现

发布时间:2021-6-22 15:16:15 来源:http://www.cnwshj.com/ 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司

   现有还原炉的每个电极上固定的是1根硅芯,而多晶硅还原电极发热体的每个电极上固定的是4根硅芯,如果所用的硅芯与现有还原炉发热体一样长、一样的直径,多晶硅还原电极发热体的表面积就是现有发热体硅芯的4倍。如果还原炉里的压力、流量和温度等工艺条件不变,采用该发热体的生产速度就是原来的4倍,因此,多晶硅还原电极发热体可以大幅度加快生产速度。采用多晶硅还原电极发热体,除了石墨电极不同外,还原炉的其他部件都不需要作任何改动,所以用起来比较容易。由于还原炉没有变,所以三氯氢硅和氢气的流量也可以不变,也就是说,生产的速度快了,生产的多晶硅多了,而尾气带出的热量没有变,损失的电能是一样的,因此,可以节约电能,降低生产成本。

文章出处:http://www.cnwshj.com/gongsixinwen/406.html 上一篇:多晶硅还原电极的内部件安装方法 下一篇:多晶硅还原电极的结构包括哪几部分组成
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