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多晶硅还原炉操作会发生什么危险?

发布时间:2013-8-27 10:07:47 来源: 作者: 镇江市旺盛合金材料有限公司

新型多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成,炉体主体采用不锈钢材质,以减少设备材质对产品的污染,混和气进气管分为数个喷口均匀的设置在底盘上,在还原炉底盘上分三个圆周均匀布置十八对电极,最外一周布置九对电极,最内一周布置三对电极,中间一周布置六对电极,以上设计使得还原炉内部结构布局合理,单台炉每批次产量与现有还原炉比较有大幅度提升,多晶硅的综合生产成本与能耗也相应降低。

一般的,市面上用的是二十四根的寻种还原炉,分为三个A\B\C三相电极。多晶硅还原炉操作会发生什么危险?氢气可能泄露,引起爆炸;夹套或冷却水供应不上烧坏炉子;电极与视镜是整个还原炉最脆弱的地方,一定要保证冷却水;停炉时要做好降温与置换工作,尤其是对视镜等检修时要确保里面的氢气置换完全,否则易发生事故。还原炉里面用的是纯的氢气及三氯氢硅,1100°条件左右进行反应,生成的硅沉积于硅棒表面,慢慢生长,一般要七十二小时以上不间断地供料供电。炉壁式夹层用循环水进行冷却。除非是炉子里面温度1300°以上时,硅棒有可能融,但是硅液溢流的情况下可能会爆炸。温度过高,压力不要太大;炉壁的水千万不可以漏在炉子里面,不然是会有危险的。


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